高分子輔助沉積法制備鎢摻雜的二氧化釩薄膜

作者： style='WHITE-SPACE: normal  WORD-SPACING: 0px  POSITION: relative  TEXT-TRANSFORM: none  COLOR: rgb(124 124 124)  PADDING-BOTTOM: 0px  TEXT-ALIGN: center  PADDING-TOP: 0px  FONT: 14px/1.4 Arial  "Microsoft Yahei"  宋體  PADDING-LEFT: 0px  ORPHANS: 2  WIDOWS: 2  MARGIN: 0px 0.5em  LETTER-SPACING: normal  PADDING-RIGHT: 0px  BACKGROUND-COLOR: rgb(255 255 255)  TEXT-INDENT: 0px  -webkit-text-stroke-width: 0px  font-stretch: normal'> onclick="                            TurnPageToKnet('au' '羅盛鮮' '42663478')                           " style='CURSOR: pointer  TEXT-DECORATION: none  COLOR: rgb(102 102 102)  OUTLINE-WIDTH: medium  PADDING-BOTTOM: 0px  TEXT-ALIGN: center  PADDING-TOP: 0px  FONT: 14px/1.4 Arial  "Microsoft Yahei"  宋體  OUTLINE-STYLE: none  PADDING-LEFT: 0px  MARGIN: 0px  OUTLINE-COLOR: invert  PADDING-RIGHT: 0px  BACKGROUND-COLOR: transparent  font-stretch: normal'>羅盛鮮 style='WHITE-SPACE: normal  WORD-SPACING: 0px  POSITION: relative  TEXT-TRANSFORM: none  COLOR: rgb(124 124 124)  PADDING-BOTTOM: 0px  TEXT-ALIGN: center  PADDING-TOP: 0px  FONT: 14px/1.4 Arial  "Microsoft Yahei"  宋體  PADDING-LEFT: 0px  ORPHANS: 2  WIDOWS: 2  MARGIN: 0px 0.5em  LETTER-SPACING: normal  PADDING-RIGHT: 0px  BACKGROUND-COLOR: rgb(255 255 255)  TEXT-INDENT: 0px  -webkit-text-stroke-width: 0px  font-stretch: normal'> onclick="                            TurnPageToKnet('au' '高敏' '28761075')                           " style='CURSOR: pointer  TEXT-DECORATION: none  COLOR: rgb(102 102 102)  OUTLINE-WIDTH: medium  PADDING-BOTTOM: 0px  TEXT-ALIGN: center  PADDING-TOP: 0px  FONT: 14px/1.4 Arial  "Microsoft Yahei"  宋體  OUTLINE-STYLE: none  PADDING-LEFT: 0px  MARGIN: 0px  OUTLINE-COLOR: invert  PADDING-RIGHT: 0px  BACKGROUND-COLOR: transparent  font-stretch: normal'>高敏 class=icon-email style="HEIGHT: 9px  WIDTH: 14px  BACKGROUND: url(../images/icon-email.png) no-repeat  PADDING-BOTTOM: 0px  FONT-STYLE: normal  PADDING-TOP: 0px  PADDING-LEFT: 0px  MARGIN: 0px  DISPLAY: inline-block  PADDING-RIGHT: 0px"> style='WHITE-SPACE: normal  WORD-SPACING: 0px  POSITION: relative  TEXT-TRANSFORM: none  COLOR: rgb(124 124 124)  PADDING-BOTTOM: 0px  TEXT-ALIGN: center  PADDING-TOP: 0px  FONT: 14px/1.4 Arial  "Microsoft Yahei"  宋體  PADDING-LEFT: 0px  ORPHANS: 2  WIDOWS: 2  MARGIN: 0px 0.5em  LETTER-SPACING: normal  PADDING-RIGHT: 0px  BACKGROUND-COLOR: rgb(255 255 255)  TEXT-INDENT: 0px  -webkit-text-stroke-width: 0px  font-stretch: normal'> onclick="                            TurnPageToKnet('au' '陳思宏' '30568715')                           " style='CURSOR: pointer  TEXT-DECORATION: none  COLOR: rgb(102 102 102)  OUTLINE-WIDTH: medium  PADDING-BOTTOM: 0px  TEXT-ALIGN: center  PADDING-TOP: 0px  FONT: 14px/1.4 Arial  "Microsoft Yahei"  宋體  OUTLINE-STYLE: none  PADDING-LEFT: 0px  MARGIN: 0px  OUTLINE-COLOR: invert  PADDING-RIGHT: 0px  BACKGROUND-COLOR: transparent  font-stretch: normal'>陳思宏 style='WHITE-SPACE: normal  WORD-SPACING: 0px  POSITION: relative  TEXT-TRANSFORM: none  COLOR: rgb(124 124 124)  PADDING-BOTTOM: 0px  TEXT-ALIGN: center  PADDING-TOP: 0px  FONT: 14px/1.4 Arial  "Microsoft Yahei"  宋體  PADDING-LEFT: 0px  ORPHANS: 2  WIDOWS: 2  MARGIN: 0px 0.5em  LETTER-SPACING: normal  PADDING-RIGHT: 0px  BACKGROUND-COLOR: rgb(255 255 255)  TEXT-INDENT: 0px  -webkit-text-stroke-width: 0px  font-stretch: normal'>林媛

單位：電子科技大學電子薄膜與集成器件國家重點實驗室

關鍵詞：二氧化釩  薄膜  摻雜  相變溫度  熱滯回線

分類號：TQ135.11;TB383.2

出版年,卷(期):頁碼：2020,48(7):1074-1080

DOI：10.14062/j.issn.0454-5648.2020.07.20200017

摘要：

利用高分子輔助沉積法（PAD）制備出鎢摻雜二氧化釩（VO2）薄膜。采用X射線衍射、光電子能譜、掃描電子顯微鏡、Raman光譜等表征技術對不同含量鎢摻雜的VO2薄膜性能進行了研究。結果表明:利用PAD方法制備的VO2薄膜質量較好,且鎢離子摻雜成功。同時Raman光譜顯示,鎢摻雜1.0%（摩爾分數）的薄膜在相變過程中出現M2相。電學測試結果顯示,鎢摻雜的VO2薄膜相變溫度大幅下降,每摻雜0.3%（摩爾分數）的鎢離子,相變溫度下降10℃,且隨著鎢摻量的增加,VO2薄膜的熱滯回線寬度減小。

基金項目：

國家自然科學基金(51872038,61825102)； “111”項目(B18011)；

作者簡介：

參考文獻：

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